发明名称
摘要
申请公布号 DE3237912(C2) 申请公布日期 1992.11.26
申请号 DE19823237912 申请日期 1982.10.13
申请人 KAMMEYER, EBERHARD, DIPL.-ING., 3000 HANNOVER, DE;MUEHLBAUER, ALFRED, PROF. DR.-ING., 3002 WEDEMARK, DE 发明人 DEICKE, JOCHEN, 3200 HILDESHEIM, DE;KAMMEYER, EBERHARD, DIPL.-ING., 3000 HANNOVER, DE;MUEHLBAUER, ALFRED, PROF. DR.-ING., 3002 WEDEMARK, DE
分类号 G01K3/06;H01L35/20;H01L35/30;H01L35/32 主分类号 G01K3/06
代理机构 代理人
主权项
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