| 摘要 |
L'invention concerne des alliages utiles pour préparer des cibles cylindriques autoportantes. Les alliages comprennent du zinc et d'autres métaux tels que l'aluminium, le bismuth, le cérium, le gadolinium, l'hafnium, le niobium, le silicium, le tantal, le titane, le vanadium, l'yttrium et le zirconium. Dans un mode préféré de réalisation, un alliage de zinc ayant approximativement 2 % d'aluminium forme des cibles cylindriques autoportantes à partir desquelles des films en oxyde métallique sont préparés par pulvérisation réactive. Les films d'oxyde métallique sont clairs, transparents, non absorbants et optiquement fonctionnels. |
