发明名称 VORRICHTUNG ZUR DURCHFUEHRUNG THERMISCHER PROZESSE, VORZUGSWEISE ZUR ABLAGERUNG VON SCHICHTEN IN EINEM CVD-REAKTOR
摘要
申请公布号 DD301312(A7) 申请公布日期 1992.11.26
申请号 DD19870300760 申请日期 1987.03.13
申请人 TECHNISCHE HOCHSCHULE ILMENAU 发明人 WALKLING PETER;EICHHORN GERD
分类号 C23C;(IPC1-7):C23C/ 主分类号 C23C
代理机构 代理人
主权项
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