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VORRICHTUNG ZUR DURCHFUEHRUNG THERMISCHER PROZESSE, VORZUGSWEISE ZUR ABLAGERUNG VON SCHICHTEN IN EINEM CVD-REAKTOR
摘要
申请公布号
DD301312(A7)
申请公布日期
1992.11.26
申请号
DD19870300760
申请日期
1987.03.13
申请人
TECHNISCHE HOCHSCHULE ILMENAU
发明人
WALKLING PETER;EICHHORN GERD
分类号
C23C;(IPC1-7):C23C/
主分类号
C23C
代理机构
代理人
主权项
地址
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