UNIVERSAL, MICROFABRICATED PROBE FOR SCANNING PROBE MICROSCOPES

摘要

L'invention décrit une sonde universelle (10) qu'on peut utiliser avec de nombreux types différents de microscopes à sonde d'analyse. La sonde est montée sur une base souple (14a, 14b). La base souple (14a, 14b) peut être soit une branche souple en porte-à-faux, soit une membrane souple (14a, 14b). La sonde (10) se présente sous forme d'un cône aigu (12) et constitue généralement une pyramide ou un cône creux et tronqués. Le sommet de la pyramide (12) ou cône possède une ouverture (18) qui le traverse et dont le diamètre de faible dimension est déterminé pour se situer entre 10 et 50,000 angstroems. Le creux (16) se trouvant à l'intérieur de la sonde (10) est rempli par un matériau sélectionné en fonction du type de microscope à sonde d'analyse qu'on utilise et de la surface sous-jacente. Un signal est couplé au matériau contenu dans l'extrémité (12) de la sonde (10) depuis le microscope à sonde d'analyse, afin de créer une interaction avec la surface sous-jacente.