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发明名称
MANUFACTURE OF MOS SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH04340277(A)
申请公布日期
1992.11.26
申请号
JP19910025528
申请日期
1991.01.25
申请人
SONY CORP
发明人
TAKEDA MINORU
分类号
H01L21/3205;H01L21/768;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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