发明名称 VERTICAL HEAT TREATMENT FURNACE FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH04340221(A) 申请公布日期 1992.11.26
申请号 JP19910028011 申请日期 1991.01.28
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 SASAKI KIYOHIRO;WATANABE KIYOSHI;ITO TAKASHI
分类号 H01L21/22;H01L21/31 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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