CRYSTAL-ORIENTED MOTION SENSOR AND PROCESS FOR MANUFACTURING IT.

摘要

On propose un détecteur pour la mesure des mouvements, en particulier la mesure des oscillations, des inclinaisons ou des accélérations, fabriqué à partir d'une pastille de silicium monocristalline. Dans la pastille de silicium, on grave au moins une palette susceptible de pivoter dans le plan de la pastille et disposée verticalement par rapport à la surface de celle-ci. Les dispositifs pour évaluer la déviation de l'une des palettes au moins sont également prévus. La partie avant et la partie arrière de la pastille de silicium sont des surfaces (110) et les parois de séparation latérale des puits de décapage sont des surfaces (111). Dans la disposition de l'une des palettes au moins, on tient compte des angles cristallographiques qui forment les plans (111) avec le plan (110) et dans celui-ci.