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发明名称 REGENERATION METHOD FOR USED PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH04338662(A) 申请公布日期 1992.11.25
申请号 JP19910138581 申请日期 1991.05.15
申请人 KOMAGANE DENKA:KK 发明人 YAMASHITA YOSHIHIRO;HOSODA SHOJI
分类号 G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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