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发明名称 ETCHING METHOD IN MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04337633(A) 申请公布日期 1992.11.25
申请号 JP19910110398 申请日期 1991.05.15
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAGAO TAKESHI;SHIKURA SHINJIROU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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