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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04337648(A) 申请公布日期 1992.11.25
申请号 JP19910110035 申请日期 1991.05.15
申请人 NEC CORP 发明人 ARA YOICHI;AKIBA YASUHIRO;SAYANA TOMOAKI
分类号 H01L21/66;H01L21/768;H01L29/41;H01L29/80 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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