发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04338645(A) 申请公布日期 1992.11.25
申请号 JP19910111872 申请日期 1991.05.16
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 SATO NOBUYOSHI;OOTA TOMOHIRO
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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