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发明名称
INTEGRATED MONOLITHIC WAVEGUIDE-PHOTODIODE COMBINATION
摘要
申请公布号
EP0278408(B1)
申请公布日期
1992.11.25
申请号
EP19880101644
申请日期
1988.02.04
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
PLIHAL, MANFRED, DR. RER. NAT.
分类号
G02B6/12;G02B6/34;G02B6/42;H01L31/109
主分类号
G02B6/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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