发明名称 MANUFACTURE OF DIELECTRIC SEPARATION SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH04337649(A) 申请公布日期 1992.11.25
申请号 JP19910110338 申请日期 1991.05.15
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 TSURUTA KAZUHIRO;FUJINO SEIJI;KATADA MITSUTAKA;HATTORI TADASHI
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/76;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
地址