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经营范围
发明名称
DEVICE FOR SUPPLYING GAS
摘要
申请公布号
JPH04338227(A)
申请公布日期
1992.11.25
申请号
JP19910110069
申请日期
1991.05.15
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
OSAKI MINORU
分类号
B01J4/00;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31
主分类号
B01J4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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