| 发明名称 |
QUALITY EVALUATION METHOD FOR CARBON MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04338664(A) |
申请公布日期 |
1992.11.25 |
| 申请号 |
JP19910139735 |
申请日期 |
1991.05.15 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
EBARA KOJI;EBE TADAYUKI |
| 分类号 |
H01L21/205;G01N27/00;G01N27/04;G01N33/00;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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