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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING THE THICKNESS OF AN INTERFACIAL POLYSILICON/SILICON OXIDE FILM
摘要
申请公布号 EP0511145(A3) 申请公布日期 1992.11.25
申请号 EP19920480056 申请日期 1992.04.07
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 MURPHY, RICHARD JOHN;SCHICK, JEROME DAVID;WILSON, HOWARD RONALD
分类号 H01L21/66;G01B7/06;G01B15/02;G01R31/26;G01R31/305;(IPC1-7):G01B7/08 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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