发明名称 ION GENERATOR
摘要
申请公布号 JPH04338639(A) 申请公布日期 1992.11.25
申请号 JP19910111272 申请日期 1991.05.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OJIRI HIDEHIRO
分类号 H01J27/16;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/18 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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