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经营范围
发明名称
ION GENERATOR
摘要
申请公布号
JPH04338639(A)
申请公布日期
1992.11.25
申请号
JP19910111272
申请日期
1991.05.16
申请人
FUJITSU LTD
发明人
OJIRI HIDEHIRO
分类号
H01J27/16;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/18
主分类号
H01J27/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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