发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04338634(A) 申请公布日期 1992.11.25
申请号 JP19910111831 申请日期 1991.05.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIYAUCHI AKIHIRO;MISAWA YUTAKA;SUZUKI TAKAYA
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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