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发明名称
GAS SOURCE MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04338632(A)
申请公布日期
1992.11.25
申请号
JP19910110637
申请日期
1991.05.15
申请人
FUJITSU LTD
发明人
SAITO JUNJI
分类号
H01L21/203;C30B23/08;C30B29/40
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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