发明名称 METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR ELEMENT HAVING LIGHTLY DOPED DRAIN (LDD) WITHOUT USING SIDEWALLS
摘要
申请公布号 US5166087(A) 申请公布日期 1992.11.24
申请号 US19920820076 申请日期 1992.01.13
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 KAKIMOTO, SEIZO;IGUCHI, KATSUJI;AHN, SUNG T.
分类号 H01L21/265;H01L21/336 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
地址