| 发明名称 |
POSITIVE RESIST COMPOSITION CONTAINING QUINONE DIAZIDE SULFONATE ESTER OF VINYLPHENOL COMPOUNDS OR ISOPROPENYLPHENOL COMPOUNDS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5166033(A) |
申请公布日期 |
1992.11.24 |
| 申请号 |
US19900587917 |
申请日期 |
1990.09.25 |
| 申请人 |
NIPPON ZEON CO., LTD. |
发明人 |
OIE, MASAYUKI;KAWATA, SHOJI;YAMADA, TAKAMASA |
| 分类号 |
G03F7/023;G03F7/022;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/023 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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