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发明名称 ELECTROSTATIC CHUCK WITH DIAMOND COATING
摘要
申请公布号 US5166856(A) 申请公布日期 1992.11.24
申请号 US19910648681 申请日期 1991.01.31
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LIPORACE, JAMES W.;SEIRMARCO, JAMES A.
分类号 B23Q3/15;G03F7/20;H01L21/683;H02N13/00 主分类号 B23Q3/15
代理机构 代理人
主权项
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