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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04335535(A) 申请公布日期 1992.11.24
申请号 JP19910105732 申请日期 1991.05.10
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 SATO JUNJI
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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