发明名称 DRY DEVELOPING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04334013(A) 申请公布日期 1992.11.20
申请号 JP19910102994 申请日期 1991.05.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MOTOYAMA TAKUYUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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