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发明名称
EPITAXIAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04334014(A)
申请公布日期
1992.11.20
申请号
JP19910104341
申请日期
1991.05.09
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
MAEDA JUN
分类号
H01L21/205;H01L21/285;H01L21/677;H01L21/68
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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