发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04334023(A) 申请公布日期 1992.11.20
申请号 JP19910105298 申请日期 1991.05.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAITO TSUTOMU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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