| 发明名称 |
DEFECT CHECKING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04333253(A) |
申请公布日期 |
1992.11.20 |
| 申请号 |
JP19910102958 |
申请日期 |
1991.05.09 |
| 申请人 |
NEC YAMAGUCHI LTD |
发明人 |
NISHIMURA EMI;KUBO NORIKO |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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