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发明名称 METHOD OF GROWING GROUP III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR EPITAXIAL LAYER
摘要
申请公布号 EP0284516(B1) 申请公布日期 1992.11.19
申请号 EP19880400729 申请日期 1988.03.24
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 MOCHIZUKI, KOUJI;OZEKI, MASASHI;OHTSUKA, NOBUYUKI
分类号 C30B25/02;H01L21/20;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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