发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04332175(A) 申请公布日期 1992.11.19
申请号 JP19910131976 申请日期 1991.05.07
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 GOTO YOSHITAKA;FUJII TETSUO
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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