发明名称 VAKUUM-APPARAT.
摘要
申请公布号 DE3875340(D1) 申请公布日期 1992.11.19
申请号 DE19883875340 申请日期 1988.12.14
申请人 BOC GROUP PLC 发明人 DE HAAN GER
分类号 H01L29/73;B01J3/00;B29C67/24;C08G63/60;C08J5/04;C08L67/00;F04B37/14;H01L21/02;H01L21/285;H01L21/331;H01L21/60;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8222;H01L23/522;H01L27/04;H01L27/06;(IPC1-7):B01J3/00 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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