摘要 |
Appareil permettant de mesurer la forme d'une surface éloignée (10), comprenant un laser (2) dont le faisceau est divisé en un faisceau de mesure (4) et en un faisceau de référence (5). On fait passer le faisceau de référence par un système de modulation de la longueur du parcours (13, 14) jusqu'à un point de répère (18), et on achemine le faisceau de mesure (4) jusqu'à un point (9) situé sur la surface éloignée. Les faisceaux réfléchis suivent au retour les mêmes parcours et sont combinés au niveau du point (6). Le schéma interférométrique des faisceaux combinés est analysé pour déterminer la longueur du parcours du faisceau de mesure alors que les coordonnées transversales du point (9) sont déterminées à partir de la position du système de direction du faisceau (12). Pour mesurer la forme de la surface (10) on répète plusieurs fois ce procédé au niveau de plusieurs points situés sur la surface à mesurer. |