发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04332125(A) 申请公布日期 1992.11.19
申请号 JP19910101109 申请日期 1991.05.07
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 MORITA SEIICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/306;H01L21/308 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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