发明名称 SUBSTRATE ALIGNING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04331914(A) 申请公布日期 1992.11.19
申请号 JP19910131766 申请日期 1991.05.07
申请人 PIONEER ELECTRON CORP 发明人 NAKANO EIICHI;KIRITANI KEN;NAKAHARA KOICHI
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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