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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR MEASURING RESIDUAL AMOUNT OF BUBBLING LIQUID MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH04332824(A) 申请公布日期 1992.11.19
申请号 JP19910102272 申请日期 1991.05.08
申请人 NEC CORP 发明人 SUGAI KAZUMI
分类号 G01F17/00;G01F22/02;H01L21/205 主分类号 G01F17/00
代理机构 代理人
主权项
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