发明名称 FIELD EMISSION TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH04332446(A) 申请公布日期 1992.11.19
申请号 JP19910102452 申请日期 1991.05.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO YUJI;ISAGOZAWA SHIGETO
分类号 H01J37/073;H01J37/248;H01J37/26 主分类号 H01J37/073
代理机构 代理人
主权项
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