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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM TESTER
摘要
申请公布号
JPH04331390(A)
申请公布日期
1992.11.19
申请号
JP19910108791
申请日期
1991.04.12
申请人
NEC CORP
发明人
NAKAMURA TOYOICHI;FUTAGAWA KIYOSHI;TSUJIIDE TORU
分类号
G01R31/302;H01L21/66
主分类号
G01R31/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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