发明名称 PROCESSOR OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04329626(A) 申请公布日期 1992.11.18
申请号 JP19910100726 申请日期 1991.05.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 FURUKAWA KEIICHI
分类号 C30B25/14;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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