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发明名称 BOAT FOR DIFFUSION TREATMENT OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH04329629(A) 申请公布日期 1992.11.18
申请号 JP19910128717 申请日期 1991.05.01
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 NISHIMOTO YASUSHI;KIRYU TAKAHIRO
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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