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发明名称 FINE SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04330782(A) 申请公布日期 1992.11.18
申请号 JP19910095190 申请日期 1991.04.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KUSUNOKI SHIGERU;SHIRAHATA MASAYOSHI
分类号 H01L21/31;H01L29/78 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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