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经营范围
发明名称
INTERATOMIC POWER MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH04330752(A)
申请公布日期
1992.11.18
申请号
JP19910051484
申请日期
1991.03.15
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
SUGIHARA KAZUYOSHI
分类号
H01L21/06;G01Q60/24;H01L21/66
主分类号
H01L21/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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