发明名称 METHOD AND DEVICE FOR DRIVING SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04329874(A) 申请公布日期 1992.11.18
申请号 JP19920049761 申请日期 1992.03.06
申请人 LEYBOLD AG 发明人 RUUDORUFU RATSUTSU
分类号 C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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