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发明名称 POLYCRYSTALLINE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04329865(A) 申请公布日期 1992.11.18
申请号 JP19910126836 申请日期 1991.04.30
申请人 FUJIKURA LTD 发明人 IIJIMA YASUHIRO;TANABE NOBUO
分类号 C23C14/08;C23C14/22;C30B28/14 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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