发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND AGING DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04330755(A) 申请公布日期 1992.11.18
申请号 JP19910032656 申请日期 1991.02.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SASADA TATSUYOSHI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址
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