| 发明名称 |
A METHOD OF SILICON INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2227119(B) |
申请公布日期 |
1992.11.18 |
| 申请号 |
GB19890000922 |
申请日期 |
1989.01.17 |
| 申请人 |
THE * PLESSEY COMPANY PLC;* GEC-MARCONI LIMITED;* PLESSEY SEMICONDUCTORS LIMITED |
发明人 |
MARTIN CLIVE * WILSON |
| 分类号 |
H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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