| 发明名称 |
ELECTRON MICROSCOPE OF ELECTRIC FIELD EMISSION TYPE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04328235(A) |
申请公布日期 |
1992.11.17 |
| 申请号 |
JP19910096701 |
申请日期 |
1991.04.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD |
发明人 |
UEKI YASUMITSU;ISAGOZAWA SHIGETO;SATO YUJI |
| 分类号 |
H01J37/073;H01J37/22;H01J37/244 |
主分类号 |
H01J37/073 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
