| 发明名称 |
ELECTRIC MEASURING DEVICE AND PARALLELISM ADJUSTING DEVICE OF SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04328842(A) |
申请公布日期 |
1992.11.17 |
| 申请号 |
JP19910125439 |
申请日期 |
1991.04.26 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
KUSUDA TATSUFUMI |
| 分类号 |
H01L21/66;G01B7/00;G01B7/14;G01R31/26 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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