发明名称 MANUFACTURE OF PHOTODETECTOR
摘要
申请公布号 JPH04328875(A) 申请公布日期 1992.11.17
申请号 JP19910098896 申请日期 1991.04.30
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 YANO HIROSHI
分类号 H01L21/318;H01L21/324;H01L31/10 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
地址