DEVICE USED IN CONTACT WITH LIQUID,申请号JP19910125018-传众专利搜索

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发明名称	DEVICE USED IN CONTACT WITH LIQUID
摘要
申请公布号	JPH04328828(A)	申请公布日期	1992.11.17
申请号	JP19910125018	申请日期	1991.04.26
申请人	TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK	发明人	MATSUMURA KIMIHARU;HASHIGUCHI TOSHIO;NISHIMURA MASAKI
分类号	H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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