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发明名称
ION BEAM NEUTRALIZATION MEANS GENERATING DIFFUSE SECONDARY EMISSION ELECTRON SHOWER
摘要
申请公布号
US5164599(A)
申请公布日期
1992.11.17
申请号
US19910732778
申请日期
1991.07.19
申请人
EATON CORPORATION
发明人
BENVENISTE, VICTOR M.
分类号
H01J37/317;C23C14/48;H01J37/02;H01L21/265
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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