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发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH04328233(A) 申请公布日期 1992.11.17
申请号 JP19910122931 申请日期 1991.04.26
申请人 HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD 发明人 UKIANA MOTOHIDE;KOBAYASHI HIROYUKI;YOTSUTSUJI TAKAFUMI
分类号 H01J37/20;H01J37/22;H01J37/24;H01J37/28 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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